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                  電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器
                      地震檢波器的應(yīng)用對我們有很大幫助,下面就來給大家介紹一下電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器。
                      電容式地震檢波器是根據(jù)兩極板之間的距離、相互覆蓋的面積、介電系數(shù)變化引起電容改變來設(shè)計(jì)的。與單電容地震檢波器相比,差動電容地震檢波器的靈敏度提高了一倍,相對非線性誤差大大減小。由于模擬差動電容式檢波器輸出信號易受電磁信號干擾,已經(jīng)逐漸被數(shù)字式差動電容檢波器取代。MEMS數(shù)字檢波器其中核心部件就是差動電容式地震檢波器。
                      MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)檢波器是目前性能較好的三分量數(shù)字地震檢波器,是以硅材料為基底,采用MEMS技術(shù),即微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)加工的差動電容式地震檢波器。
                      21世紀(jì)初國外推出的VectorSeis系列和DSU系列數(shù)字地震檢波器都是基于MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)的微電子機(jī)械數(shù)字傳感系統(tǒng)。MEMS地震檢波器結(jié)構(gòu)精巧,靈敏度比動圈式地震檢波器高,動態(tài)范圍較大,同時(shí)實(shí)現(xiàn)了檢波器的數(shù)字化,抗干擾能力強(qiáng)。該類型地震檢波器在實(shí)驗(yàn)室研制的性能效果較好,但是加工工藝為先進(jìn)的MEMS技術(shù),成本較高,在地震勘探過程中通常會使用幾十甚至幾百個(gè)檢波器,因此將該類型檢波器投入大型地震勘探生產(chǎn)實(shí)踐還有一定的難度。
                      以上就是關(guān)于電容式地震檢波器和MEMS地震檢波器的介紹,希望對大家有所幫助。

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